本系統(tǒng)專為晶圓製造商所設(shè)計(jì)而成,各種設(shè)備一應(yīng)俱全,可製作各種IC晶片。
產(chǎn)品陣容包括有片狀晶圓清潔機(jī)器、晶圓邊緣研磨機(jī)等。
晶圓邊緣研磨機(jī):W-GM-6200